JEL真空机械手

JEL真空机械手是一种用于半导体制造过程中晶圆搬运的自动化设备。
JEL真空机械手，又称JEL晶圆搬运机械臂，是一种专门设计用于在洁净环境下搬运半导体晶圆的自动化设备。它们通常采用真空吸附的方式固定晶圆，并能够适应不同的晶圆尺寸和形状。JEL机械手有多种类型，包括3轴、4轴和5轴机械手，每种类型都有其特定的应用场景和技术特点。