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微动机构三维

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更新时间：2026-01-26
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微动机构就是在很小的行程范围内工作的一种精密机构，一般指行程范围为毫米级、位移分辨率及定位精度达纳米级，甚至亚纳米级的位移机构。
其工作原理通常涉及转动手轮，使导杆左右移动，进行微动调整。微动机构包括直线运动的微位移机构，以及转动、晃动微小的机构1。在实际应用中，如并联六自由度微动机器人机构，通过多个执行器同时驱动，提高了运动控制的稳定性和精度，广泛应用于微电子制造、生物医学工程以及高精度装配等高要求行

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