Loadport装载系统下载(831.26 KB,zip格式) 三维模型

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Loadport装载系统

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更新时间：2026-05-20
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Loadport装载系统（晶圆装载系统）是EFEM（Equipment Front End Module）的心组成部分之一，负责接收FOUP（前开式晶圆盒）并解锁其门口，确保晶圆可被顺利提取，是EFEM与前段自动化系统的接口。
现代Loadport具备自动识别、开关门及状态反馈等功能，并支持多工位（1至4个）配置，满足不同设备的处理需求1。
Loadport与OHT或RGV等设备通过E84光通讯传感器做信号互锁，RFID传感器用于辅助生产管理
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