摘 要 ：采用微细 电火花铣削 与微细电火花 线 切 割 组 合 加 工 复 杂 微 小 零 件 。 以 带 轴 的 微 小 齿 轮 为 例 ，在分析其 结构特点及 微细电加工特性的基础上 ，规 划 了 微 小 齿 轮 轴 的 组 合 电 加 工 工 艺 流 程 ，分 析 了 组 合 加 工 中 的 精 度 和 效 率 ，实现了节圆直径为 ３５０μｍ 的微小齿轮轴的制造 。
关 键 词 ：微 机 电 系 统 ；微细电火花铣削加工 ；微细电火花线切割加工
关 键 词 ：微 机 电 系 统 ；微细电火花铣削加工 ；微细电火花线切割加工
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